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XYZ三軸式精密平臺技術(shù)參數(shù)：
1.采用單片機控制，運行機構(gòu)是直線電機與傳統(tǒng)的伺服電機+螺桿或同步帶相比較可以獲得更高的重復定位和高速度。
2.重復定位精度：±0.5μm 。 定位精度 ：±1μm 。最高速度?。?000mm/s。
3.負載可以達到3公斤?？梢耘c激光測量儀，激光切割機，點膠機等配合實現(xiàn)高精密的測量切割點膠放點等。
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